[发明专利]镀膜机无效
| 申请号： | 200910302939.2 | 申请日： | 2009-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN101906611A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 裴绍凯 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜机，该镀膜机用于将待镀液体镀到至少一块基板上。所述镀膜机包括容器、转子及加热器，所述容器包括侧壁，所述至少一块基板固定于所述侧壁上，所述容器设置有入液口及排气口，待镀液体通过所述入液口注入所述容器内，所述转子用于带动所述待镀液体沿所述侧壁的圆周方向旋转，使得待镀液体覆盖所述基板，所述加热器加热所述基板，用于将所述基板表面的待镀液体蒸发，在所述基板表面形成膜结构。本发明提供的镀膜机由于可以在所述侧壁固定多块基板，所以可以同时对多块基板进行镀膜，由此大大的提高了镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 | ||
【主权项】：
一种镀膜机，该镀膜机用于将待镀液体镀到基板上，其特征在于，所述镀膜机包括容器、转子及加热器，所述容器包括侧壁，至少一块所述基板固定于所述侧壁上，所述容器设置有入液口及排气口，待镀液体通过所述入液口注入所述容器内，所述转子用于带动所述待镀液体沿所述侧壁的圆周方向旋转，使得待镀液体覆盖所述基板，所述加热器加热所述基板，用于将所述基板表面的待镀液体蒸发，在所述基板表面形成膜结构。
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