[发明专利]蒸发源及使用该蒸发源的蒸镀装置无效
| 申请号： | 200910307692.3 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN102031485A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 林圣来 | 申请（专利权）人： | 深圳富泰宏精密工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸发源，其包括一电极组件以及多层用于支撑蒸镀材料的支撑单元，该电极组件包括四间隔设置的电极杆，该多层支撑单元沿该电极杆的长度方向间隔设置，每层支撑单元包括四向不同方向伸出的支撑架，每一支撑架分别由相邻的二电极杆上各伸出一支撑臂组成，且靠近该电极杆两端位置的支撑单元较位于该电极杆中部位置的支撑单元密集。本发明还提供一种使用上述蒸发源的蒸镀装置。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 使用 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸发源，其包括一电极组件以及多层支撑单元，其特征在于：该电极组件包括四间隔设置的电极杆，该多层支撑单元沿该电极杆的长度方向间隔设置，每层支撑单元包括向不同方向伸出的四支撑架，每一支撑架包括分别由相邻的二电极杆伸出的二支撑臂及若干架设于该二支撑臂上的发热电阻丝，所述相邻二支撑单元之间的间距由邻近该电极杆两端朝邻近该电极杆中部位置逐渐增大。
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