[发明专利]一维微位移装置无效
申请号: | 200910309561.9 | 申请日: | 2009-11-11 |
公开(公告)号: | CN101702329A | 公开(公告)日: | 2010-05-05 |
发明(设计)人: | 李国;孙涛;张龙江;董申 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 张宏威 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一维微位移装置,它涉及一种微位移装置。它解决了现有的微位移装置的柔性铰链径向刚度小、径向承载力小,以及难以精确控制输出的问题。一维微位移装置,它的所述连接轴位于基座的工作孔中,前应变片和后应变片平行设置,一号内环与二号内环分别固定在连接轴的两端的台肩内,前端盖和后端盖分别通过一号内环和二号内环与连接轴的台肩连接,一号外环与二号外环分别固定在基座的两端,二号内环与后端盖固定连接。本发明的装置可以广泛适用于在超精密加工中提供误差补偿、精密微量进给等场合。 | ||
搜索关键词: | 一维微 位移 装置 | ||
【主权项】:
一维微位移装置,它包括基座(1)、前端盖(7)和后端盖(9),其特征是:它还包括工作台(5)、前应变片(6)和后应变片(10)和连接轴(4),所述连接轴(4)位于基座(1)的工作孔中,前应变片(6)由一号外环(6-1)、应变环(20)和一号内环(6-3)组成;所述一号内环(6-3)、应变环(20)和一号外环(6-1)同轴,且应变环(20)柔性连接在一号外环(6-1)和一号内环(6-3)之间;后应变片(10)由二号外环(10-1)、应变环(20)和后应变内环(10-3)组成,所述二号内环(10-3)、应变环(20)和二号外环(10-1)同轴,且应变环(20)柔性连接在二号外环(10-1)和二号内环(10-3)之间;所述前应变片(6)和后应变片(10)平行设置,一号内环(6-3)与二号内环(10-3)分别固定在连接轴(4)的两端的台肩内,前端盖(7)和后端盖(9)分别通过一号内环(6-3)和二号内环(10-3)与连接轴(4)的两个台肩连接,一号外环(6-1)与二号外环(10-1)分别固定在基座(1)的两端。
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