[发明专利]玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺

摘要

本发明公开了一种玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺，将硝酸、氢氟酸、硫酸以及冰乙酸混合均匀得到腐蚀液，待腐蚀液冷却至常温后注入到插好管芯的腐蚀模内，对管芯腐蚀2～4次，每次腐蚀后均用喷水枪对管芯冲水；并预先用双氧水、磷酸以及去离子水配制得到钝化液，将配制好的钝化液注入到腐蚀好管芯的腐蚀模内，进行化学钝化，钝化结束后用喷水枪对管芯冲水，然后将腐蚀盘放入超声清洗器中超声5～10分钟，最后用喷水枪冲水将管芯冲洗干净，待梳料后涂玻璃成型即可。本发明采用腐蚀液短时间次数多的腐蚀方法来对管芯进行腐蚀，控制管芯腐蚀的速率和温度，防止大量的铂、铜离子进入腐蚀液，从而得到电特性良好，台面表面清洁的二极管。

主权项

一种玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺，其特征在于：将25～40份mol浓度为65～70％的硝酸，10～40份mol浓度为38～42％氢氟酸，8～15份mol浓度为96～98％的硫酸以及35～40份mol浓度为99.9％的冰乙酸混合均匀得到腐蚀液，待腐蚀液冷却至常温后注入到插好管芯的腐蚀模内，对管芯腐蚀2～4次，每次腐蚀60～120秒，每次腐蚀后均用喷水枪对管芯冲水30～180秒；并预先用10～20份双氧水，10～20份mol浓度为83～88％的磷酸以及70～80份去离子水配制得到钝化液，将配制好的钝化液注入到腐蚀好管芯的腐蚀模内，进行化学钝化1～2分钟，钝化结束后用喷水枪对管芯冲水30～180秒，然后将腐蚀盘放入超声清洗器中超声5～10分钟，最后用喷水枪冲水将管芯冲洗干净，送入管芯保存箱中存放，待梳料后涂玻璃成型即可；所有份数均按体积份数计算。