[发明专利]改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺有效
| 申请号： | 200910311227.7 | 申请日： | 2009-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN101700466A | 公开（公告）日： | 2010-05-05 |
| 发明（设计）人： | 唐前正;张新;李钊;王璜;卫雄;山玉庸 | 申请（专利权）人： | 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/40;B01D53/68;C01B33/035 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 51124 | 代理人： | 武森涛 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及尾气处理工艺，涉及一种改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺。本发明所要解决的技术问题是提供不易堵管道的改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺，所述工艺为将高沸物残液及氯硅烷尾气与淋洗剂进行中和反应，中和反应后的气体排空，中和反应后的液体处理至中性后进行无害化处理，所述淋洗剂按体积百分比计为10～30％石灰乳。本发明工艺的石灰乳淋洗剂使用时，氯化钙结晶缓慢，且晶体十分松散、容易清理，不会堵塞管道；相比较氢氧化钠可以节省8～10％的淋洗剂用量，节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 改良 西门子 多晶 生产 中残液 尾气 处理 工艺 | ||
【主权项】：
改良西门子法多晶硅生产中残液及尾气处理工艺，将高沸物残液及氯硅烷尾气与淋洗剂进行中和反应，中和反应后的气体排空，中和反应后的液体处理至中性后进行无害化处理，其特征在于：所述淋洗剂按体积百分比计为10～30％石灰乳。
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