[发明专利]一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法

摘要

一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，它涉及一种稿台玻璃表面氧化铝保护膜的制备方法。本发明解决了现有稿台玻璃硬度低、耐磨性差，导致使用寿命短、使用成本高的问题。本发明方法：超声清洗稿台玻璃，然后置于样品台上；然后抽真空后通氩气，再对稿台玻璃进行离子清洗，再将样品台转至沉积位置；继续抽真空，再通入氧气，设置沉积参数，开启装置，进行镀膜；然后再反溅即得。本发明的蓝宝石保护膜的纳米显微硬度为14.89～16.03GPa，670～690nm波段的扫描信号的光学透过率在80％以上。本发明蓝宝石保护膜在提高稿台玻璃硬度、耐磨性的同时，保证扫描信号透过率，延长了稿台玻璃的使用寿命，降低了使用成本。

主权项

一种稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法，其特征在于稿台玻璃表面蓝宝石保护膜的制备方法是通过以下步骤实现的：一、将稿台玻璃用超声波清洗50～80min，然后将稿台玻璃置于过滤阴极电弧沉积设备真空仓内的样品台上；二、将真空仓内抽真空至1.0×10-6～9.9×10-6Torr后通入氩气，控制氩气流量为18～24cm3/min，当真空仓内压强达到8.0×10-5～1.0×10-4Torr时，将样品台转至离子清洗位置，对稿台玻璃表面进行离子清洗10～20min，然后关闭氩气，再将样品台转至沉积位置；三、继续对真空仓进行抽真空，当真空度达到1.0×10-6～9.9×10-6Torr时，再将样品台加热至400～1000℃，然后通入氧气，氧气流量控制在50～70cm3/min，然后调入扫描波形，设置沉积参数为：弧电流为100～130A，基底偏压为-300V，扫描时长为2～8min；四、当真空仓内真空度为4.0×10-4～7.0×10-4Torr时，开启装置，开始对铝靶施加电压起弧，向稿台玻璃表面沉积镀膜；本次镀膜结束后将氧气流量调至3～4cm3/min；五、将样品台转至离子清洗位置，然后通入氩气，氩气流量控制在15～20cm3/min，当真空仓内压强为8.0×10-5～1.0×10-4Torr时，对样品台施加-500V～-800V的电压，进行反溅，反溅时间控制在1～4min；六、重复操作步骤四和步骤五10～30次，即在稿台玻璃表面得到蓝宝石保护膜。