[发明专利]镀膜装置无效
| 申请号： | 200910312962.X | 申请日： | 2009-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102115869A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 裴绍凯 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种镀膜装置，包括镀膜室、安装在该镀膜室内的镀膜件放置板、蒸镀装置。蒸镀装置与镀膜件放置板相对设置。镀膜件放置板为一平板。镀膜装置还包括设于镀膜室内，且位于蒸镀装置与镀膜件放置板之间的等离子体发射器。等离子体发射器包括相互平行且共面的多个等离子体发射管，多个等离子体发射管所形成的平面与镀膜件放置板平行。该镀膜装置的镀膜效果较好。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种镀膜装置，包括镀膜室、安装于该镀膜室内的镀膜件放置板、蒸镀装置，该蒸镀装置与该镀膜件放置板相对设置，其改良在于：该镀膜件放置板为一平板，该镀膜装置还包括设于该镀膜室内，且位于该蒸镀装置与该镀膜件放置板之间的等离子体发射器，该等离子体发射器包括相互平行且共面的多个等离子体发射管，该多个等离子体发射管所形成的平面与该镀膜件放置板平行。
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