[实用新型]一种合金拼接靶无效
| 申请号： | 200920010077.1 | 申请日： | 2009-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN201358297Y | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 付广艳;刘群 | 申请（专利权）人： | 沈阳化工学院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 沈阳技联专利代理有限公司 | 代理人： | 张志刚 |
| 地址： | 110142辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种合金拼接靶，涉及一种镀膜技术，基片对应靶材的不同成分位置分层摆放，其特征在于合金拼接靶由高合金半靶和低合金半靶拼接在一起，构成一个整体平面溅射靶：两个半靶分别加工出台阶，然后搭接一起。本实用新型结构简单，一块拼接合金靶、一次溅射实验便可以在基片上方便、快捷的制备不同成分的合金膜，且经济适用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 拼接 | ||
【主权项】：
1.一种合金拼接靶，基片对应靶材的不同成分位置分层摆放，其特征在于合金拼接靶由高合金半靶和低合金半靶拼接在一起，构成一个整体平面溅射靶：两个半靶分别加工出台阶，然后搭接一起。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳化工学院，未经沈阳化工学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920010077.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：防盗窗
- 下一篇：边框内套梯锥形芯框木制门
- 同类专利
- 专利分类
