[实用新型]超高真空直线推动导入器有效
| 申请号： | 200920011033.0 | 申请日： | 2009-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN201355323Y | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 郭方准 | 申请（专利权）人： | 大连齐维科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/36 | 分类号： | G01N1/36 |
| 代理公司： | 大连科技专利代理有限责任公司 | 代理人： | 于忠晶 |
| 地址： | 116023辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空设备。超高真空直线推动导入器，外筒一端装有后部板，另一端固定安装真空设备连接法兰，真空设备连接法兰置于外筒内的一端焊接波纹管，波纹管置于外筒内，且另一端焊接可动法兰，波纹管内装有导入棒，导入棒一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，导入棒另一端焊接在可动法兰端面，可动法兰导入棒的背面固定装有推动杆，推动杆与后部板活动插接。本实用新型采用固定波纹管密封，使得直线驱动顺畅，密封性能佳，达到放出气体少的要求，手动驱动自由，超高真空环境中的直线驱动在大气侧通过外部推动杆直推驱动，速度快且便捷，直线驱动位置控制精确。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 真空 直线 推动 导入 | ||
【主权项】：
1、超高真空直线推动导入器，其特征是：外筒一端装有后部板，另一端固定安装真空设备连接法兰，真空设备连接法兰置于外筒内的一端焊接波纹管，波纹管置于外筒内，且另一端焊接可动法兰，波纹管内装有导入棒，导入棒一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，导入棒另一端焊接在可动法兰端面，可动法兰导入棒的背面固定装有推动杆，推动杆与后部板活动插接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连齐维科技发展有限公司，未经大连齐维科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920011033.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
