[实用新型]去除全氟碳化物气体的系统无效
| 申请号： | 200920012473.8 | 申请日： | 2009-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN201454385U | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 朱小梅;孙冰;解宏端 | 申请（专利权）人： | 大连海事大学 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01D53/70 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李猛 |
| 地址： | 116026 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 去除全氟碳化物气体的系统，在待处理气体输入口处设置流量控制器(或阀门)，通过管路连接到内部通过微波产生等离子体的反应管，在等离子体后部设置催化剂床层，按照气体流入的方向在反应管后部设置有湿式吸收装置。本实用新型具有脱除效率高，能耗低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 碳化物 气体 系统 | ||
【主权项】：
去除全氟碳化物气体的系统，其特征在于主要包括以下装置：在待处理气体输入口(1)处设置有一流量控制器(2)，流量控制器(2)通过管路连接到反应管(3)，在反应管(3)的内部通过微波产生等离子体(4)，按照气体流入的方向在等离子体后部设置有催化剂床层(5)，所述的等离子体(4)由微波发生器(8)通过波导管(7)提供能量，波导管(7)和反应管(3)采用中心点直接耦合方式，等离子体为等离子体炬形，按照气体流入的方向在反应管后部设置有湿式吸收装置(6)。
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