[实用新型]四轴驱动器有效
| 申请号： | 200920014367.3 | 申请日： | 2009-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN201413331Y | 公开（公告）日： | 2010-02-24 |
| 发明（设计）人： | 郭方准 | 申请（专利权）人： | 大连齐维科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N35/10 | 分类号： | G01N35/10 |
| 代理公司： | 大连科技专利代理有限责任公司 | 代理人： | 于忠晶 |
| 地址： | 116023辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空设备。四轴驱动器，X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与底板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管底部法兰焊接，波纹管底部法兰与X向位移板或Y向位移板四个角上分别安装支撑微分头，波纹管上端法兰盘与Z向螺旋棒固定连接，Z向螺旋棒通过圆锥齿轮副连接Z向调整把手。本实用新型实现超高真空环境中的XYZ三维和一个倾角偏转的四维立体驱动。实现超高真空环境中样品精确直线驱动和外部信号导入的重要手段。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动器 | ||
【主权项】：
1、四轴驱动器，其特征是：X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与底板之间滑动连接，并分别装有X向调整装置和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管底部法兰焊接，波纹管底部法兰与X向位移板或Y向位移板四个角上分别安装支撑微分头，波纹管上端法兰盘与Z向螺旋棒固定连接，Z向螺旋棒通过圆锥齿轮副连接Z向调整把手。
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