[实用新型]精密重载真空直线导入装置无效
| 申请号： | 200920014985.8 | 申请日： | 2009-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201430500Y | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 张晓哲;孙影;佟辉;李鹏;汪良 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | H02K7/116 | 分类号： | H02K7/116;H02K37/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空导入装置，具体地说是一种精密重载真空直线导入装置，包括直线步进电机、固定板、刀口法兰及波纹管，固定板设置在刀口法兰上，直线步进电机安装在固定板上，直线步进电机上设有作为输出轴的丝杠，丝杠上螺纹连接有丝母，带有滑块的连接板与丝母相连接、与丝母连动；波纹管内设有空心轴，波纹管的一端与法兰相连、空心轴的一端由法兰穿出，波纹管的另一端通过过渡板与连接板相连接、丝杠插入空心轴的另一端；在固定板上设有直线导轨，滑块在直线导轨上往复移动。本实用新型采用直线步进电机，将丝杠整合在电机内部，直接驱动丝杠旋转，减少了中间环节、降低装配难度，从而提高了系统的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 重载 真空 直线 导入 装置 | ||
【主权项】：
1.一种精密重载真空直线导入装置，其特征在于：包括直线步进电机(7)、固定板(5)、刀口法兰(1)及波纹管(3)，所述固定板(5)设置在刀口法兰(1)上，直线步进电机(7)安装在固定板(5)上，直线步进电机(7)上设有作为输出轴的丝杠(16)，丝杠(16)上螺纹连接有丝母(8)，带有滑块(14)的连接板(13)与丝母(8)相连接、与丝母(8)连动；所述波纹管(3)内设有空心轴(4)，波纹管(3)的一端与法兰(1)相连、空心轴(4)的一端由法兰(1)穿出，波纹管(3)的另一端通过过渡板(11)与连接板(13)相连接、丝杠(16)插入空心轴(4)的另一端；在固定板(5)上设有直线导轨(15)，滑块(14)在直线导轨(15)上往复移动。
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