[实用新型]一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具无效
申请号: | 200920035276.8 | 申请日: | 2009-03-14 |
公开(公告)号: | CN201387222Y | 公开(公告)日: | 2010-01-20 |
发明(设计)人: | 陈世强;邹虎 | 申请(专利权)人: | 无锡市奥曼特科技有限公司 |
主分类号: | F26B25/08 | 分类号: | F26B25/08;F26B5/08 |
代理公司: | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) | 代理人: | 顾吉云 |
地址: | 214024江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具,其能按照硅片规格的大小的要求适当调整,配置成本低,生产效率高。其包括两块底板和两块侧板,两块底板和两块侧板相互扣接,其特征在于:其还包括侧挡杆和下挡杆,底板上开有卡孔,侧挡杆和下挡杆分别卡接入与底板的对应的卡孔内。 | ||
搜索关键词: | 一种 改良 用于 硅片 甩干机 放置 夹具 | ||
【主权项】:
1、一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具,其包括两块底板和两块侧板,所述两块底板和两块侧板相互扣接,其特征在于:其还包括侧挡杆和下挡杆,所述底板上开有卡孔,所述侧挡杆和下挡杆分别卡接入与所述底板的对应的卡孔内。
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