[实用新型]一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具无效

专利信息
申请号: 200920035276.8 申请日: 2009-03-14
公开(公告)号: CN201387222Y 公开(公告)日: 2010-01-20
发明(设计)人: 陈世强;邹虎 申请(专利权)人: 无锡市奥曼特科技有限公司
主分类号: F26B25/08 分类号: F26B25/08;F26B5/08
代理公司: 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 代理人: 顾吉云
地址: 214024江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具,其能按照硅片规格的大小的要求适当调整,配置成本低,生产效率高。其包括两块底板和两块侧板,两块底板和两块侧板相互扣接,其特征在于:其还包括侧挡杆和下挡杆,底板上开有卡孔,侧挡杆和下挡杆分别卡接入与底板的对应的卡孔内。
搜索关键词: 一种 改良 用于 硅片 甩干机 放置 夹具
【主权项】:
1、一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具,其包括两块底板和两块侧板,所述两块底板和两块侧板相互扣接,其特征在于:其还包括侧挡杆和下挡杆,所述底板上开有卡孔,所述侧挡杆和下挡杆分别卡接入与所述底板的对应的卡孔内。
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