[实用新型]一种金属卤素曝光灯无效

专利信息
申请号: 200920035538.0 申请日: 2009-03-13
公开(公告)号: CN201449984U 公开(公告)日: 2010-05-05
发明(设计)人: 曹福清 申请(专利权)人: 通州市亚太颜料有限公司
主分类号: H01J61/36 分类号: H01J61/36;H01J61/04;H01J61/12;G03F7/20
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 黄雪兰
地址: 226300 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种用于电子网板制造过程中曝光机用的金属卤素曝光灯,由珍珠屏灯罩和灯锥组成曝光灯外壳,内部充入氮气;在灯锥内壁上涂有一层对不同波长紫外线光反射有不同选择作用的特殊紫外线反光膜;在灯锥尾部,两电源接片、金属帽、支架分别依次连接,将外部电源引入曝光灯外壳内;与支架相连的两钼杆,与钼片、钍钨电极依次连接组成灯芯两放电极;灯芯内充入金属卤素物。该金属卤素曝光灯对波长为320~450nm的紫外线光反射率高、输出功率大;反光膜附着率强、耐高温性能好,性能稳定、工作可靠;工作中灯芯不熄弧。
搜索关键词: 一种 金属 卤素 曝光
【主权项】:
一种金属卤素曝光灯,其特征是:珍珠屏灯罩和灯锥结合处,经熔焊后组成金属卤素曝光灯外壳,内部充入氮气;在灯锥内壁上涂有一层紫外线反光膜;在灯锥尾部,两电源接片、金属帽、支架分别依次连接;与支架相连的两钼杆,与钼片、钍钨电极依次连接组成灯芯两放电极,灯芯内充入金属卤化物。
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