[实用新型]一种显微分光测量装置无效

专利信息
申请号: 200920036726.5 申请日: 2009-02-24
公开(公告)号: CN201378097Y 公开(公告)日: 2010-01-06
发明(设计)人: 王政;赵跃东 申请(专利权)人: 南京东利来光电实业有限责任公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02;G01J3/28;G01J3/02
代理公司: 南京天翼专利代理有限责任公司 代理人: 王玉梅
地址: 210028*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种显微分光测量装置,可以确保测试系统的光轴与被测面法线重合,从而提高测量精度。所述显微分光测量装置包括照明系统、投光系统和成像光学系统,照明系统用以将光源所发出的光输送给投光光学系统,投光系统包括半透半反镜,将照明系统的光经半透半反镜后投射到被测面上,被测面的反射光再经半透半反镜后被送入成像光学系统,成像光学系统包括包括左目镜和右目镜,右目镜前设有补偿透镜,进入成像光学系统的被测面的反射光被分光后,一束经补偿透镜会聚在右目镜的焦平面上,一束成像于左目镜焦平面上。本实用新型结构简单、构思新颖,可以有效提高光能利用率、确保被测面法线与测试系统的光轴重合,从而有效提高测量精度。
搜索关键词: 一种 显微 分光 测量 装置
【主权项】:
1、一种显微分光测量装置,包括照明系统、投光系统和成像光学系统,照明系统用以将光源所发出的光输送给投光光学系统,投光系统包括半透半反镜,将照明系统的光经半透半反镜后投射到被测面上,被测面的反射光再经半透半反镜后被送入成像光学系统,成像光学系统包括包括左目镜和右目镜,其特征在于,右目镜前设有补偿透镜,进入成像光学系统的被测面的反射光被分光后,一束经补偿透镜会聚在右目镜的焦平面上,一束成像于左目镜焦平面上。
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