[实用新型]一种显微分光测量装置无效
申请号: | 200920036726.5 | 申请日: | 2009-02-24 |
公开(公告)号: | CN201378097Y | 公开(公告)日: | 2010-01-06 |
发明(设计)人: | 王政;赵跃东 | 申请(专利权)人: | 南京东利来光电实业有限责任公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01J3/28;G01J3/02 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 | 代理人: | 王玉梅 |
地址: | 210028*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型提供了一种显微分光测量装置,可以确保测试系统的光轴与被测面法线重合,从而提高测量精度。所述显微分光测量装置包括照明系统、投光系统和成像光学系统,照明系统用以将光源所发出的光输送给投光光学系统,投光系统包括半透半反镜,将照明系统的光经半透半反镜后投射到被测面上,被测面的反射光再经半透半反镜后被送入成像光学系统,成像光学系统包括包括左目镜和右目镜,右目镜前设有补偿透镜,进入成像光学系统的被测面的反射光被分光后,一束经补偿透镜会聚在右目镜的焦平面上,一束成像于左目镜焦平面上。本实用新型结构简单、构思新颖,可以有效提高光能利用率、确保被测面法线与测试系统的光轴重合,从而有效提高测量精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 显微 分光 测量 装置 | ||
【主权项】:
1、一种显微分光测量装置,包括照明系统、投光系统和成像光学系统,照明系统用以将光源所发出的光输送给投光光学系统,投光系统包括半透半反镜,将照明系统的光经半透半反镜后投射到被测面上,被测面的反射光再经半透半反镜后被送入成像光学系统,成像光学系统包括包括左目镜和右目镜,其特征在于,右目镜前设有补偿透镜,进入成像光学系统的被测面的反射光被分光后,一束经补偿透镜会聚在右目镜的焦平面上,一束成像于左目镜焦平面上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京东利来光电实业有限责任公司,未经南京东利来光电实业有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200920036726.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。