[实用新型]一种步进式微区压印系统

摘要

本实用新型公开了一种步进式微区压印系统，包括放置待压印基板的工作平台，安装压印模仁的压印头及其驱动装置，固化结构及控制装置；以待压印基板所在平面为x-y平面，所述工作平台与所述压印头具有x轴和y轴方向的相对平移运动自由度，所述压印模仁的驱动装置包括数控的使压印模仁绕z轴旋转的旋转运动装置和数控的z轴方向的平移运动装置，所述控制装置提供各运动装置的控制信号、固化信号，并实现压力控制。本实用新型采用了结构合理的压印模仁的驱动装置，并配合自调平机构，提高了模仁压入的平衡、均匀及其与基板表面的垂直性，使整个装置具有稳定的压力输出，避免了压印模仁的损耗。

主权项

1.一种步进式微区压印系统，包括放置待压印基板(38)的工作平台(13)，安装压印模仁(30)的压印头(31)及其驱动装置，固化结构及控制装置；以待压印基板(38)所在平面为x-y平面，所述工作平台(13)与所述压印头(31)具有x轴和y轴方向的相对平移运动自由度，所述压印模仁(30)的驱动装置包括数控的使压印模仁绕z轴旋转的旋转运动装置和数控的z轴方向的平移运动装置，所述控制装置(18)提供各运动装置的控制信号、固化信号，并实现压力控制；其特征在于，所述数控的使压印模仁绕z轴旋转的旋转运动装置和数控的z轴方向的平移运动装置的结构为：压印头连接板(7)上设有伺服电机(8)，伺服电机(8)驱动连接板(23)沿z轴方向上下运动，构成所述平移运动装置；伺服电机(35)控制主同步带轮(34)，并通过主同步带轮(34)同步带动从同步带轮(27)转动，压印头(31)通过隔热板(28)与从同步带轮(27)连接，构成所述旋转运动装置；压印头(31)的底部设有压印模仁(30)，所述压印头上还设有自调平机构(33)，所述自调平机构(33)通过第一减压阀(5)和第二减压阀(20)分别控制平移运动装置导向驱动器(25)的上、下气缸的气体压力；所述压印头(31)上还设有加热器(29)和温度传感器(32)。