[实用新型]单晶硅棒料开方检验设备组合无效
| 申请号： | 200920042955.8 | 申请日： | 2009-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201534360U | 公开（公告）日： | 2010-07-28 |
| 发明（设计）人： | 施海明;陆景刚;张锦根;鄂林 | 申请（专利权）人： | 镇江环太硅科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;B28D5/00 |
| 代理公司： | 镇江京科专利商标代理有限公司 32107 | 代理人： | 夏哲华 |
| 地址： | 212216 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶硅晶片的制造设备的组合结构，具体是一种用来对单晶硅棒料进行检验的单晶硅棒料开方检验设备组合。该单晶硅棒料开方检验设备组合包括有尺寸测量及划线工具、红外测试仪和少子测试机，所述测量及划线工具、红外测试仪和少子测试机三个部分依次排布，三个部分之间通过自动传送带连接。本实用新型在传统检测设备之间设置自动传送带，可以将棒料在各检测环节自动传送，降低了操作人员的劳动强度，也减少了转动过程中对材料的损耗和浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 开方 检验 设备 组合 | ||
【主权项】：
一种单晶硅棒料开方检验设备组合，包括有尺寸测量及划线工具(1)、红外测试仪(2)和少子测试机(3)，其特征是：所述测量及划线工具、红外测试仪和少子测试机三个部分依次排布，三个部分之间通过自动传送带(4)连接。
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