[实用新型]镀膜线旋转靶水头轴套无效
| 申请号： | 200920043814.8 | 申请日： | 2009-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN201406465Y | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 黄林冲;俞立民;王贤荣;陈咏宁 | 申请（专利权）人： | 江苏蓝星玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 226006江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种镀膜线旋转靶水头轴套，包括壳体，壳体下端设有凸台，在凸台凸台的下表面设有固定孔，所述凸台的外圆周上设有圆弧凹槽，壳体内部为空心结构，且壳体为2Cr13材料。本实用新型具有提高靶材利用率，减少成本、提高使用寿命、防止水泄漏和靶材打弧的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 旋转 水头 轴套 | ||
【主权项】：
1、一种镀膜线旋转靶水头轴套，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)下端设有凸台(2)，所述凸台(2)的下表面设有固定孔(3)，所述凸台的外圆周上设有圆弧凹槽(4)，所述壳体(1)内部为空心结构。
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