[实用新型]一种石英舟有效
| 申请号： | 200920068241.4 | 申请日： | 2009-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN201374326Y | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 魏亚涛;王晨光 | 申请（专利权）人： | 上海晶澳太阳能光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L31/18;H01L21/22;H01L21/324 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 200436*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英舟，包括支撑框架和支杠组件，所述的支杠组件由安装在支撑框架上的一对上支杠和一对下支杠组成，所述的一对上支杠由对称设置的左上支杠和右上支杠组成，所述的一对下支杠由对称设置的左下支杠和右下支杠组成，所述一对上支杠所在的平面与一对下支杠所在的平面相平行，所述石英舟还具有硅片安装定位机构，硅片承托在所述安装定位机构上。本实用新型的石英舟可有效降低硅片在装舟过程中出现的碎片率高、装舟用时长等问题，显著提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
【主权项】：
1.一种石英舟，包括支撑框架和支杠组件，其特征在于：所述的支杠组件由安装在支撑框架上的一对上支杠和一对下支杠组成，所述的一对上支杠由对称设置的左上支杠和右上支杠组成，所述的一对下支杠由对称设置的左下支杠和右下支杠组成，所述一对上支杠所在的平面与一对下支杠所在的平面相平行，所述石英舟还具有硅片安装定位机构，硅片承托在所述安装定位机构上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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