[实用新型]晶片位置检测装置有效
| 申请号： | 200920070374.5 | 申请日： | 2009-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN201392179Y | 公开（公告）日： | 2010-01-27 |
| 发明（设计）人： | 朱晨光 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶片位置检测装置，包括：支架，跨设于承载晶片的晶片盒；第一激光发生器、第二激光发生器以及第三激光发生器均设置在所述支架上，并位于所述晶片盒一侧；第一传感器、第二传感器以及第三传感器均设置在所述支架上，并位于所述晶片盒的另一侧；信号处理单元，与所述第一传感器、第二传感器以及第三传感器连接，用以处理所述第一传感器、第二传感器以及第三传感器接收的激光信号；其中所述第一传感器、第二传感器以及第三传感器分别对应感测所述第一激光发生器、第二激光发生器以及第三激光发生器发出的激光束。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 位置 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种晶片位置检测装置，包括：支架，跨设于承载晶片的晶片盒；第一激光发生器、第二激光发生器以及第三激光发生器均设置在所述支架上，并位于所述晶片盒一侧；第一传感器、第二传感器以及第三传感器均设置在所述支架上，并位于所述晶片盒的另一侧；信号处理单元，与所述第一传感器、第二传感器以及第三传感器连接，用以处理所述第一传感器、第二传感器以及第三传感器接收的激光信号；其中所述第一传感器、第二传感器以及第三传感器分别对应感测所述第一激光发生器、第二激光发生器以及第三激光发生器发出的激光束。
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