[实用新型]一种硅单晶炉晶棒托架有效
申请号: | 200920073066.8 | 申请日: | 2009-05-27 |
公开(公告)号: | CN201406481Y | 公开(公告)日: | 2010-02-17 |
发明(设计)人: | 汤旋 | 申请(专利权)人: | 上海申和热磁电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30;C30B29/06 |
代理公司: | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 吕 伴 |
地址: | 200444上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅单晶炉晶棒托架,包括一个L形托架,该L形托架包括一个固定在单晶炉上炉体上的托架固定导柱和托架板,其托架板铰接于所述托架固定导柱的底端。本实用新型在使用时,可先将托架板向下翻转至完全打开状态,放到上炉筒的下面,下降晶棒至托架板刚好接触稳固晶棒,旋转炉筒至安全取棒位置,上升晶棒离开托架板,使晶棒下降到取棒车中,移动晶棒车以后把托架板向上翻转至折叠状态,这样不会碰到操作员,在取籽晶时有更大的空间,最大程度的减少人身伤害。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅单晶炉晶棒 托架 | ||
【主权项】:
1、一种硅单晶炉晶棒托架,包括一个L形托架,该L形托架包括一个固定在单晶炉上炉体上的托架固定导柱和托架板,其特征在于,所述托架板活动安装在所述托架固定导柱的底端。
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