[实用新型]一种流水线型CdTe薄膜太阳能电池制备设备

摘要

本实用新型公开了一种流水线型CdTe薄膜太阳能电池制备设备，包括一可对所述制备设备进行控制的主机机柜、一设置在主机机柜上的近空间升华炉及一磁控溅射仪；所述磁控溅射仪顶部设有旋转加热样品台，所述近空间升华炉下方设有红外加热器，上方设有升降加热样品台，所述近空间升华炉与磁控溅射仪通过插板阀连接，一磁力机械手贯穿于近空间升华炉与磁控溅射仪中。该设备能在真空闭锁调节下完成所有制备太阳能电池的工序，具有效率高，自动化程度高、没有中间污染环节等特点。

主权项

一种流水线型CdTe薄膜太阳能电池制备设备，包括一可对所述制备设备进行控制的主机机柜、一设置在主机机柜上的近空间升华炉及一磁控溅射仪；其特征在于：所述磁控溅射仪顶部设有旋转加热样品台，所述近空间升华炉下方设有红外加热器，上方设有升降加热样品台，所述近空间升华炉与磁控溅射仪通过插板阀连接，一磁力机械手贯穿于近空间升华炉与磁控溅射仪中。