[实用新型]气流导向装置及高低温提供系统有效
| 申请号： | 200920075287.9 | 申请日： | 2009-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN201438195U | 公开（公告）日： | 2010-04-14 |
| 发明（设计）人： | 李刚;郑鹏飞;谢君强;潘军花 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种气流导向装置，所述气流导向装置的顶端为开口，所述气流导向装置的底端封闭，侧壁设置有气流出口。本实用新型还一种高低温提供系统，包括控制系统、测试头、耐温罩、喷嘴以及气流导向装置，所述气流导向装置的顶端为开口，所述气流导向装置的底端封闭，所述气流导向装置的侧壁设置有气流出口。使用本实用新型的高低温提供系统在对半导体器件进行功能测试时不会因气流直接喷向被测样品而影响到测试结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 气流 导向 装置 低温 提供 系统 | ||
【主权项】：
一种气流导向装置，所述气流导向装置的顶端为开口，其特征在于，所述气流导向装置的底端封闭，侧壁设置有气流出口。
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