[实用新型]气体回收利用装置有效
| 申请号： | 200920075513.3 | 申请日： | 2009-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN201500538U | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 唐俊;李银生 | 申请（专利权）人： | 上海米开罗那机电技术有限公司;北京米开罗那机电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | B01L1/00 | 分类号： | B01L1/00;F24F7/00 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人： | 刘云贵 |
| 地址： | 201315 上海市南汇*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气体回收利用装置，可以将系统中的工艺气体在线增压收集，储存利用。其进气端与一个工艺腔体相连，其排气端与用气点相连，其特征在于，包括增压单元、压力检测和反馈单元及压力调节单元，其中，增加单元与压力调节单元通过管线相连，压力检测和反馈单元通过信号控制增压单元的气体压力。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 回收 利用 装置 | ||
【主权项】：
一种气体回收利用装置，其进气端与一个工艺腔体相连，其排气端与用气点相连，其特征在于，包括增压单元、压力检测和反馈单元及压力调节单元，其中，增加单元与压力调节单元通过管线相连，压力检测和反馈单元通过信号控制增压单元的气体压力。
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