[实用新型]一种光学镀膜机的烘烤装置无效
| 申请号： | 200920092479.0 | 申请日： | 2009-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN201648506U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 马文鹏;徐军;党亚军 | 申请（专利权）人： | 河南中光学集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117 | 代理人： | 庄振乾 |
| 地址： | 473003 *** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种光学镀膜机的烘烤装置，具有设置在烘烤盘上加热丝、温度测量控制装置，其中：在真空室内部侧壁安装有多组加热丝，所述几组加热丝使用一路温度测量控制装置，同一路温度测量控制装置的几组加热丝在烘烤盘上按照从中央到边缘的顺序排列，不同路温度测量控制装置的每几组加热丝，在烘烤盘上按照扇形区域分布。与现有技术相比，结构简单，布局合理，加热效率高，工件表面的温度均匀性好，明显提高膜层质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 镀膜 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
一种光学镀膜机的烘烤装置，具有设置在烘烤盘上加热丝、温度测量控制装置，其特征在于：在真空室内部侧壁安装有多组加热丝，所述几组加热丝使用一路温度测量控制装置，同一路温度测量控制装置的几组加热丝在烘烤盘上按照从中央到边缘的顺序排列，不同路温度测量控制装置的每几组加热丝，在烘烤盘上按照扇形区域分布。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南中光学集团有限公司，未经河南中光学集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920092479.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：安全可靠的氢氧发生器系统
- 下一篇：锌液废渣分离、回收机
- 同类专利
- 专利分类
