[实用新型]一种磁控溅射设备中的电池边沿保护装置有效
| 申请号： | 200920094599.4 | 申请日： | 2009-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN201534875U | 公开（公告）日： | 2010-07-28 |
| 发明（设计）人： | 杨继泽;刘万学;张兵;王巍;王德宏;左腾;朱艳伟;钟福建 | 申请（专利权）人： | 吉林庆达新能源电力股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01L31/18;H01J37/02;H01J37/34 |
| 代理公司： | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人： | 石岱 |
| 地址： | 136001 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型属于太阳能电池生产领域，具体的说是一种在磁控溅射设备中对太阳能电池进行溅镀Al层时太阳能电池边沿的保护装置。该保护装置包括靶材、矩形保护环、太阳能电池、仓体，所述的保护环设置在仓体内靶材和太阳能电池之间，保护环为矩形环状的结构。由于采用上述结构，使得磁控溅射设备对太阳能电池进行溅镀Al层时，不会将Al溅射到太阳能电池的边沿和仓室的内壁上从而避免导致短路和毁坏设备的现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 设备 中的 电池 边沿 保护装置 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射设备中的电池边沿保护装置，其特征在于：该保护装置包括靶材(1)、矩形保护环(2)、太阳能电池(3)、仓体(4)，所述的保护环(2)设置在仓体(4)内靶材(1)和太阳能电池(3)之间，保护环(2)为矩形环状的结构。
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