[实用新型]一种磁控溅射溅镀前的太阳能电池加热装置有效
| 申请号： | 200920094601.8 | 申请日： | 2009-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN201530855U | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 杨继泽;刘万学;张兵;刘志才;王德宏;孙学义;朱艳伟;钟福建 | 申请（专利权）人： | 吉林庆达新能源电力股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01J37/02;H01J37/34;H01L31/18 |
| 代理公司： | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人： | 石岱 |
| 地址： | 136001 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控溅射溅镀前的太阳能电池加热装置，该加热装置包括并排设置的两个加热箱、电池挂片箱、传送导轨，所述的传送导轨设置在两个加热箱的上面，电池挂片箱挂装在传送导轨上。本实用新型由于采用上述结构使得太阳能电池在磁控溅射设备中溅镀Al前能够进行循序渐进的分级加热，不会导致电池的表面应力产生过大的变化和造成太阳能电池损害。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 溅镀前 太阳能电池 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射溅镀前的太阳能电池加热装置，其特征在于：该加热装置包括并排设置的两个加热箱(1,2)、电池挂片箱(3)、传送导轨(4)，所述的传送导轨(4)设置在两个加热箱(1,2)的上面，电池挂片箱(3)挂装在传送导轨(4)上。
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