[实用新型]一种硅单晶切割籽晶专用夹具

摘要

一种硅单晶切割籽晶专用夹具，用于解决籽晶切割方位问题。其技术方案是：构成中包括基准弯板、基准板、调整板和石墨垫，基准弯板由相互垂直的立板和平板构成，基准板与平板平行且固定在平板上，调整板位于基准板上部，与基准板形成可调固定连接，石墨垫粘接在调整板上表面。本实用新型可在x射线定向仪测定硅单晶晶向的同时，根据晶向误差对硅单晶进行调整并确定其切割角度，从而保证切割籽晶的质量。采用该夹具切割籽晶不仅无需剔除晶向偏角较大的硅单晶原料，而且可将籽晶晶向误差严格控制在正负30秒以内。

主权项

一种硅单晶切割籽晶专用夹具，其特征在于：构成中包括基准弯板(1)、基准板(5)、调整板(4)和石墨垫(3)，所述基准弯板由相互垂直的立板(1-1)和平板(1-2)构成，所述基准板与平板平行且固定在平板上，所述调整板位于基准板上部、与基准板形成可调固定连接，所述石墨垫粘接在调整板上表面，其上表面为硅单晶(2)的粘接面。