[实用新型]多晶硅生产线四氯化硅处理系统无效
| 申请号： | 200920104244.9 | 申请日： | 2009-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN201454384U | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 杨海申;杨佳朋;赵会华;贾建华;李晓华 | 申请（专利权）人： | 杨海申 |
| 主分类号： | B01D53/68 | 分类号： | B01D53/68 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 053100 河北省枣强*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶硅生产线所产生四氯化硅的处理系统。系统组成中热汽化装置的出气口接分离釜的进气口，分离釜的出气口接无填料喷雾式吸收塔的进气口，无填料喷雾式吸收塔的出气口接静压釜的进气口，静压釜的出气口接降膜盐酸回收器的进气口，降膜盐酸回收器的出气口接填料式盐酸二次回收器的进气口，填料式盐酸二次回收器的出气口接真空泵，降膜盐酸回收器和填料式盐酸二次回收器的出液口接盐酸储罐，无填料喷雾式吸收塔的二氧化硅出料口接压滤装置的进料口，压滤装置的出料口接闪蒸干燥装置的进料口，闪蒸干燥装置的出料口接二氧化硅存放罐。可根据应用要求安装自动控制元器件，实现管理的自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产线 氯化 处理 系统 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产线四氯化硅处理系统，其特征在于热汽化装置(1)的出气口接气体分离釜(2)的进气口，气体分离釜(2)的出气口接无填料喷雾式吸收塔(3)的进气口，无填料喷雾式吸收塔(3)的出气口接静压釜(6)的进气口，静压釜(6)的出气口接降膜盐酸回收器(7)的进气口，降膜盐酸回收器(7)的出气口接填料式盐酸二次回收器(8)的进气口，填料式盐酸二次回收器(8)的出气口接真空泵(9)，降膜盐酸回收器(7)和填料式盐酸二次回收器(8)的出液口接盐酸储罐(10)，无填料喷雾式吸收塔(3)下端的二氧化硅出料口接压滤装置(4)的进料口，压滤装置(4)的出料口接闪蒸干燥装置(5)的进料口，闪蒸干燥装置(5)的出料口接二氧化硅存放罐(11)。
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