[实用新型]一种光刻机硅片台双台交换装置

摘要

一种光刻机硅片台双台交换装置，该装置含有基台，两个预处理工位和一个曝光工位。在基台上设有运行于预处理工位硅片台，运行于曝光工位的硅片台。在基台两侧长边边缘分别设置有一条直线电机定子与两个X方向运动的单自由度驱动单元组成直线电机，一条Y方向的导轨穿过硅片台，Y方向的导轨分别与基台两侧的X方向运动的单自由度驱动单元联结，共同驱动硅片台在X-Y平面运动；本实用新型避免了只有硅片台参与交换所带来的要求极高的导轨对接精度，以及需增加对接辅助装置等缺陷，大大简化了系统结构，二是该系统双台交换采用4个完全相同的单自由度驱动单元实现，系统的复杂性大大降低。

主权项

1.一种光刻机硅片台双台交换装置，该装置含有基台(1)，两个预处理工位(2)、(4)，曝光工位(3)；所述在基台(1)上设有运行于预处理工位(2)的硅片台(16)、运行于曝光工位(3)的硅片台(17)；所述在基台(1)两侧长边边缘X方向分别设置有一条直线电机磁钢定子(9)和(10)，由X方向运动的第一单自由度驱动单元(5)，第二单自由度驱动单元(6)共用直线电机定子磁钢(9)，所述由X方向运动的第三单自由度驱动单元(7)，第四单自由度驱动单元(8)共用直线电机定子磁钢(10)；所述两侧长边边缘Y方向的导轨(18)穿过硅片台(16)并驱动硅片台(16)沿Y方向运动，且Y方向的导轨(18)分别与X方向运动的第一单自由度驱动单元(5)和第三单自由度驱动单元(7)联结，共同驱动硅片台(16)在X-Y平面运动；所述两侧长边边缘Y方向的导轨(19)穿过硅片台(17)并驱动硅片台(17)沿Y方向运动，并且Y方向的导轨(19)分别与X方向运动的第二单自由度驱动单元(6)和第四单自由度驱动单元(8)联结，共同驱动硅片台(17)在X-Y平面运动；所述在基台(1)周围分别布置有测量X方向位移的双频激光干涉仪(11)和(15)，在测量Y方向位移的双频激光干涉仪(12)、(13)和(14)。