[实用新型]边缘光刻胶去除装置有效
| 申请号： | 200920105724.7 | 申请日： | 2009-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN201359681Y | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 王辉;张琨鹏;姚庆阳;李庆平 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘 芳 |
| 地址： | 100176北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种边缘光刻胶去除装置，包括固设在喷嘴主体上的第一喷嘴模块，所述第一喷嘴模块上设置有用于去除基板边缘光刻胶的第一清洗剂喷嘴和第一气体喷嘴，所述第一清洗剂喷嘴和第一气体喷嘴分别连通有第一清洗剂供给口和第一气体供给口；所述第一气体喷嘴和所述基板之间设置有用于防止清洗剂溅射的第一防溅挡板，所述第一防溅挡板与所述第一气体喷嘴的设置方向一致。本实用新型边缘光刻胶去除装置可有效防止清洗剂溅射到基板上的电路图形区域，提高了边缘光刻胶的清除效果，减少了清除边缘光刻胶时产生的基板不良。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘 光刻 去除 装置 | ||
【主权项】：
1、一种边缘光刻胶去除装置，包括固设在喷嘴主体上的第一喷嘴模块，所述第一喷嘴模块上设置有用于去除基板边缘光刻胶的第一清洗剂喷嘴和第一气体喷嘴；所述第一清洗剂喷嘴和第一气体喷嘴分别连通有第一清洗剂供给口和第一气体供给口；其特征在于，所述第一气体喷嘴和所述基板之间设置有用于防止清洗剂溅射的第一防溅挡板，所述第一防溅挡板与所述第一气体喷嘴的设置方向一致。
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