[实用新型]LED蓝宝石衬底划片机

摘要

本实用新型公开了一种LED蓝宝石衬底划片机，其包括有箱体，箱体包括有上半箱体和下半箱体，上半箱体的底面以及顶端分别设有隔板；顶端隔板上部设有激光器安装装置、外光路系统及图像采集装置，图像采集装置包括有高倍显微镜头以及图像采集电荷耦合器件，顶端隔板下部设有气路装置、组合聚焦镜装置以及焦距自动调节装置；底面隔板上设置有组合工作台装置，组合工作台装置包括有精密旋转马达以及二维直线电机数控工作台；下半箱体上设有主控箱以及与主控箱相连接的工控机，工控机还分别与图像采集装置及组合工作台装置相连接；本实用新型的LED蓝宝石衬底划片机能够自动调焦、高速、高精度划片并且性能稳定。

主权项

1、一种LED蓝宝石衬底划片机，其包括有箱体，所述箱体包括有上半箱体和下半箱体，所述上半箱体的底面以及顶端分别设置有隔板；其特征在于，所述顶端隔板上部设置有用于加装激光器的激光器安装装置、用于所述激光器焦点聚光的外光路系统及图像采集装置，所述图像采集装置包括有高倍显微镜头以及能够把光学影像转化为数字信号的图像采集电荷耦合器件，所述顶端隔板下部设置有气路装置、组合聚焦镜装置以及用于调节所述激光焦点的焦距自动调节装置；所述底面隔板上设置有组合工作台装置，用于放置LED蓝宝石衬底的组合工作台装置包括有精密旋转马达以及二维直线电机数控工作台；所述下半箱体上设置有用于控制所述激光器工作的主控箱以及与主控箱相连接的工控机，所述工控机还分别与图像采集装置及组合工作台装置相连接。