[实用新型]适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片无效
| 申请号： | 200920106986.5 | 申请日： | 2009-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN201383013Y | 公开（公告）日： | 2010-01-13 |
| 发明（设计）人： | 杨晋玲;周美强;周威;唐龙娟;朱银芳;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G02B1/10;G02B1/02;G01B11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片，该光学窗口片包括：光学玻片(101)；蒸镀在光学玻片(101)正面的正面增透膜(102)；以及蒸镀在光学玻片(101)背面的背面增透膜(103)。该光学窗口片使用高强度、低折射率的材料制成，双面平行且双面镀增透膜，减小了激光共聚焦测量装置的测量光束透过光学窗口片进行位移测量时的系统误差，可以满足对密闭环境腔室内的样品进行非接触式光学测量的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 激光 聚焦 测量 装置 光学 窗口 | ||
【主权项】：
1、一种适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片，其特征在于，该光学窗口片包括： 光学玻片(101)； 蒸镀在光学玻片(101)正面的正面增透膜(102)；以及 蒸镀在光学玻片(101)背面的背面增透膜(103)。
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