[实用新型]气动真空机械手有效
| 申请号： | 200920108193.7 | 申请日： | 2009-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN201394834Y | 公开（公告）日： | 2010-02-03 |
| 发明（设计）人： | 梁聚宝;薛志杰;李钢 | 申请（专利权）人： | 北京金盛微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J7/00 | 分类号： | B25J7/00 |
| 代理公司： | 北京东方汇众知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人： | 朱元萍 |
| 地址： | 100193北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种气动真空机械手，涉及微电子设备所使用的真空传送领域，包括气缸、气缸过渡接头和机械手臂，其中：气缸为导向气缸，导向气缸与气缸过渡接头固定连接，气缸杆与气缸过渡接头之间具有密封圈可移动密封。该密封圈为“O”形密封圈，具有两道“O”形密封圈。解决了气缸杆的真空密封，实现了用直线送进气缸代替磁力传动，保证了样品的自动化传送，仅有气缸杆留在样品室内，其余机构设置到样品装卸室的外部，简化结构，减少污染。提高可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 气动 真空 机械手 | ||
【主权项】：
1.一种气动真空机械手，包括气缸(1)、气缸过渡接头(3)和机械手臂(6)，其特征在于：气缸为导向气缸(1)，导向气缸(1)与气缸过渡接头(3)固定连接，气缸杆(10)与气缸过渡接头(3)之间具有密封圈(2)可移动密封。
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