[实用新型]自动压力控制器有效
| 申请号： | 200920108194.1 | 申请日： | 2009-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN201397478Y | 公开（公告）日： | 2010-02-03 |
| 发明（设计）人： | 薛志杰;梁聚宝;林平 | 申请（专利权）人： | 北京金盛微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/00 | 分类号： | G05D16/00 |
| 代理公司： | 北京东方汇众知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人： | 朱元萍 |
| 地址： | 100193北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 自动压力控制器，步进电机(6)驱动的蝶形压力调节阀，由电容薄膜真空规作为压力传感器，蝶形压力调节阀，其中：蝶形压力调节阀包括阀体(1)、活动阀板(2)和控制单元，活动阀板(2)通过转轴支撑到阀体(1)中，步进电机(6)通过弹性连轴器(4)连接活动阀板(2)的转轴，磁流体密封(3)和弹性连轴器(4)相连，并共同封闭在屏蔽罩(5)中，弹性连轴器(4)上设置有触杆(9)和行程开关(8)，插头(7)设置在屏蔽罩(5)上。控制精度高，无需制动及变速装置，用于微电子加工设备。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 压力 控制器 | ||
【主权项】：
1、一种自动压力控制器，包括：步进电机(6)驱动的蝶形压力调节阀，由电容薄膜真空规作为压力传感器，蝶形压力调节阀，其特征是：蝶形压力调节阀包括阀体(1)、活动阀板(2)和控制单元，活动阀板(2)通过转轴支撑到阀体(1)中，步进电机(6)通过弹性连轴器(4)连接活动阀板(2)的转轴，磁流体密封(3)和弹性连轴器(4)相连，并共同封闭在屏蔽罩(5)中，弹性连轴器(4)上设置有触杆(9)和行程开关(8)，插头(7)设置在屏蔽罩(5)上。
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