[实用新型]扩散炉自动舟升降装置有效
| 申请号： | 200920109658.0 | 申请日： | 2009-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201438080U | 公开（公告）日： | 2010-04-14 |
| 发明（设计）人： | 桂晓波;郝晓明 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D3/12 | 分类号： | F27D3/12;C30B31/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散炉自动舟升降装置，其特征在于：设有框架(1)，给扩散炉送料的自动舟(2)的导轨(3)水平设置在框架的两个竖框(1.1、1.2)上，在该两个竖框上设有从两端控制导轨上下垂直移动的垂直移动装置(4.1、4.2)，在所述竖框上设有底座(5.1、5.2)，底座上设有涡轮蜗杆升降机(6.1、6.2)，该升降机的蜗杆上端设有支承座(7.1、7.2)，该支承座固定在所述导轨的下面，左、右涡轮蜗杆升降机由一个步进电机、联轴器和传动轴(8)动力连接。本实用新型适用于扩散炉自动舟和其他装置上的平行升降装置，帮助送料装置完成整个送料过程，保证自动舟上下运动平稳可靠，硅片无抖动。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 自动 升降 装置 | ||
【主权项】：
一种扩散炉自动舟升降装置，其特征在于：设有框架(1)，给扩散炉送料的自动舟(2)的导轨(3)水平设置在框架的两个竖框(1.1、1.2)上，在该两个竖框上设有从两端控制导轨上下垂直移动的垂直移动装置(4.1、4.2)，在所述竖框上设有底座(5.1、5.2)，底座上设有涡轮蜗杆升降机(6.1、6.2)，该升降机的蜗杆上端设有支承座(7.1、7.2)，该支承座固定在所述导轨的下面，左、右涡轮蜗杆升降机由一个步进电机、联轴器和传动轴(8)动力连接。
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