[实用新型]基板载台有效
| 申请号： | 200920110211.5 | 申请日： | 2009-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN201464755U | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 白国晓;齐铮 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 曲鹏 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基板载台，包括台板、用于监测所述台板姿态变化的姿态传感装置和调整台板姿态的姿态控制装置，所述姿态传感装置包括液体水平器和液位传感器，所述液体水平器内装设有导电液体，根据所述导电液体的液面变化发送控制信号的液位传感器设置在所述液体水平器上。本实用新型通过设置监测台板姿态变化的姿态传感装置，且姿态传感装置利用了连通器原理和液体导电原理，一方面具有反应速度快，调节灵敏，控制精度高度优点，另一方面避免了工作中的磨损，不仅减少了设备故障，而且提高了工作寿命，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载台 | ||
【主权项】：
一种基板载台，包括台板、用于监测台板姿态变化的姿态传感装置和调整台板姿态的姿态控制装置，其特征在于，所述姿态传感装置包括液体水平器和液位传感器，所述液体水平器内装设有导电液体，根据所述导电液体的液面变化发送控制信号的液位传感器设置在所述液体水平器上。
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