[实用新型]带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉有效
| 申请号： | 200920122503.0 | 申请日： | 2009-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN201459276U | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;朱亮;张俊;邱敏秀 | 申请（专利权）人： | 上虞晶盛机电工程有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 唐银益 |
| 地址： | 312364 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅单晶制备装置，旨在提供一种带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉。该生长炉包括加热器、石英坩埚和保温装置，石英坩埚上方设有围护着单晶棒提升区域的热屏装置；在热屏装置与单晶棒提升区域之间设置一个筒状的水冷夹套；所述水冷夹套是中空的夹套设备，水冷夹套内部为冷却水流动的通道，并设进水管和出水管。本实用新型通过水冷夹套对单晶棒刚生长出来的高温部分进行冷却，巨大的温差使得单晶棒散热很快，单晶棒生长速度可提高近一倍。由于单晶棒生长界面的热量可以快速通过单晶棒导走，既大大降低了加热器的功耗，还能减少晶体的微缺陷。如果使用的冷却水温度更低，降温效果还会更好。 | ||
| 搜索关键词： | 水冷 直拉式硅单晶 生长 | ||
【主权项】：
一种带水冷夹套的直拉式硅单晶生长炉，包括加热器、石英坩埚和保温装置，石英坩埚上方设有围护着单晶棒提升区域的热屏装置；其特征在于，在热屏装置与单晶棒提升区域之间设置一个筒状的水冷夹套；所述水冷夹套是中空的夹套设备，水冷夹套内部为冷却水流动的通道，并设进水管和出水管。
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