[实用新型]大样品大范围高分辨原子力显微检测装置

摘要

本实用新型公开了一种大样品大范围高分辨原子力显微检测装置。采用压电陶瓷探头扫描和步进电机大范围移动相结合的方法，同时设计了开放式的样品台，实现大型超精密工件的微纳米检测。它具有激光器、光路跟踪透镜、压电陶瓷、微悬臂探针及光电探测元件组成的大范围高分辨扫描探头系统和对大尺寸样品进行大范围移动的X、Y向步进电控平移台以及光学平台、扫描成像及反馈控制系统。本实用新型的优点是克服了常规AFM仅适用于小样品的小范围检测的局限性，设计了简单实用的透镜系统解决探针大范围扫描时的光路跟踪问题，采用开放式的样品台和二维步进电机，可对大型超精密工件样品，在保持AFM的超高分辨率下实现任意区域大范围扫描检测。

主权项

1.一种大样品大范围高分辨原子力显微检测装置，其特征在于包括压电瓷扫描探头(1)、光学平台(2)、Y向步进电控平移台(3)、样品台(4)、待测样品(5)、第一固定块(6)、第二固定块(7)、第一支撑柱(8)、第二支撑柱(9)、支撑梁(10)、X向步进电控平移台(11)、滑动块(12)、L形固定块(13)；在光学平台(2)上两侧分别设有第一固定块(6)、第二固定块(7)，在光学平台(2)上设有Y向步进电控平移台(3)，第一固定块(6)上设有第一支撑柱(8)，第二固定块(7)上设有第二支撑柱(9)，Y向步进电控平移台(3)上设有样品台(4)，第一支撑柱(8)、第二支撑柱(9)上端设有支撑梁(10)，在支撑梁(10)上方安装X向步进电控平移台(11)，滑动块(12)安装在X向步进电控平移台(11)上，滑动块(12)下方设有L形固定块(13)，L形固定块(13)上安装有压电瓷扫描探头(1)。