[实用新型]激光刻划跟随除尘装置有效
申请号: | 200920133297.3 | 申请日: | 2009-06-26 |
公开(公告)号: | CN201439089U | 公开(公告)日: | 2010-04-21 |
发明(设计)人: | 高云峰;刘宇;倪鹏玉 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族激光科技股份有限公司 |
主分类号: | B08B15/00 | 分类号: | B08B15/00;B23K26/00;B23K26/42;H01L31/18 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 丁锐 |
地址: | 518057 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种激光刻划跟随除尘装置,包括可对着激光器并可与激光器同步运动的除尘口,除尘口与激光器分列太阳能电池芯片的两侧,除尘口连接吸尘系统。采用本实用新型除尘装置,在激光刻划过程中及时跟随除尘,降低废气和灰尘对电池芯片造成污染的可能性,减少次品或废品的发生率,提供生产效率,避免浪费,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 激光 刻划 跟随 除尘 装置 | ||
【主权项】:
一种激光刻划跟随除尘装置,其特征在于:包括可对着激光器并可与激光器同步运动的除尘口,所述除尘口与激光器分列太阳能电池芯片的两侧,所述除尘口连接吸尘系统。
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