[实用新型]紫外激光光束整形装置有效
| 申请号： | 200920135606.0 | 申请日： | 2009-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN201373947Y | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 高云峰;翟学涛;冯广智;雷群 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型构建一种紫外激光光束整形装置，包括紫外激光光源、聚焦系统，还包括扩束镜、光束整形镜，所述扩束镜置于紫外光源出光面口，紫外激光经扩束镜扩束后入射紧随的光束整形镜，再进入聚焦系统。通过扩束镜和整形镜将激光光束变为能量均匀的激光光束，在加工过程中，获得好的加工效果，同时，提高激光能量的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 激光 光束 整形 装置 | ||
【主权项】：
1.一种紫外激光光束整形装置，包括紫外激光光源、聚焦系统，其特征在于，还包括扩束镜、光束整形镜，所述扩束镜置于紫外激光光源出光面口，紫外激光经扩束镜扩束后入射紧随的光束整形镜，再进入聚焦系统。
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