[实用新型]硅片真空吸附装置有效
| 申请号： | 200920154409.3 | 申请日： | 2009-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN201488516U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 耿彪 | 申请（专利权）人： | 耿彪 |
| 主分类号： | F26B25/00 | 分类号： | F26B25/00;F16B47/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 黄家俊 |
| 地址： | 101101 北京市通州*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片的吸附装置。本实用新型公开了一种硅片真空吸附装置，包括机架、固定在机架上的电机、与电机连接的传动带和带轮、万向轴承、真空泵、与真空泵连接的吸附件，该吸附件包括半空心轴、密封器、吸盘，其中，半空心轴的一个端部与吸盘连接，半空心轴的另一个端部固定在带轮上，所述密封器套在半空心轴上的螺旋气孔处，万向轴承套在半空心轴的上部。本实用新型气路通畅，吸附力强，吸盘上的吸附力均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 真空 吸附 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片真空吸附装置，包括机架、固定在机架上的电机、与电机连接的传动带和带轮、万向轴承、真空泵、与真空泵连接的吸附件，其特征在于：所述吸附件包括半空心轴、密封器、吸盘，其中，半空心轴的一个端部与吸盘连接，半空心轴的另一个端部固定在带轮上，所述密封器套在半空心轴上的螺旋气孔处，万向轴承套在半空心轴的上部。
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