[实用新型]一种带有内加热器的PECVD系统

摘要

本实用新型公开了一种带有内加热器的PECVD系统，包括真空室和置于真空室内的可移式等离子箱，所述真空室的外周四壁上设有加热板，所述可移式等离子箱至少为两个，各可移式等离子箱平行排列于真空室内，各可移式等离子箱之间设有用于使真空室内均匀受热的内加热器。此装置大大提高了单室沉积系统的产量，又避免传统加热方式造成的温度分布不均衡问题，本实用新型有效解决了在带有TCO的玻璃衬底上沉积的硅基薄膜的厚度不均匀性，提高了大面积硅基薄膜太阳电池的性能，为研发大面积PECVD薄膜沉积系统奠定了基础，有力推动硅薄膜电池技术产业化。

主权项

1、一种带有内加热器的PECVD系统，该系统包括带有进、出气口(20、7)的真空室(1)和置于真空室内可移式等离子箱(2)，所述真空室的外周四壁上设有加热板(5)，其特征在于：该系统中的可移式等离子箱(2)至少为两个，各可移式等离子箱(2)平行排列于真空室内，各可移式等离子箱之间设有用于使真空室内均匀受热的内加热器(3)。