[实用新型]一种CZ直拉法单晶炉无效
| 申请号： | 200920172289.X | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN201424519Y | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 马四海;张笑天 | 申请（专利权）人： | 芜湖升阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/30 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蒋光恩 |
| 地址： | 241100安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种CZ直拉法单晶炉，所述的单晶炉包括晶棒取棒框，所述的晶棒取棒框包括晶棒支撑框(1)，所述的晶棒支撑框(1)的支撑件为活动支撑脚(2)，所述的活动支撑脚(2)与所述的晶棒支撑框(1)的连接处采用活动关节结构。采用上述技术方案，使80或者85型CZ直拉法单晶炉的最大取棒行程由1300mm左右增加至1800mm～2000mm。相对现有技术采用的方法，既避免了设备改造带来的风险，节约了改造成本；同时还能提高生产效率，降低生产成本；本实用新型取棒框，很多部位使用活动关节技术，节约了空间，即使直接固定在单晶炉的底架上，也不会改变原有的单晶炉台布局。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cz 直拉法单晶炉 | ||
【主权项】：
1、一种CZ直拉法单晶炉，所述的单晶炉包括晶棒取棒框，所述的晶棒取棒框包括晶棒支撑框(1)，其特征在于：所述的晶棒支撑框(1)的支撑件为活动支撑脚(2)，所述的活动支撑脚(2)与所述的晶棒支撑框(1)的连接处采用活动关节结构。
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