[实用新型]超导组件制程装置整合设备

摘要

本实用新型为一种超导组件制程装置整合设备，包括一第一制程装置、一第二制程装置及一第三制程装置。第一制程装置可对超导组件做测漏检测；第二制程装置可对做完测漏检测的超导组件做抽真空、除气及封口动作，可检测并保持超导组件的真空度，并将超导组件的注料管封口；第三制程装置具有一剪断装置及一焊接装置，可对做完封口动作的超导组件做剪断及焊接的动作。凭借本实用新型超导组件制程装置整合设备，建立一贯生产自动化制程，能有效控制超导组件的生产质量及优良率，并适合大量生产。

主权项

一种超导组件制程装置整合设备，其特征在于，包括：一第一制程装置，其用于对一超导组件做测漏检测，该第一制程装置包括一第一真空泵、一第一真空阀及一第一感测组件，该第一真空泵及该第一真空阀连接该超导组件的一注料管，配合该第一感测组件对该超导组件做内部真空度测漏检测；一第二制程装置，其用于对做完测漏检测的该超导组件做抽真空、除气及封口动作，该第二制程装置包括：一第二真空泵，其连接该超导组件，并用于对该超导组件进行抽真空；一第二真空阀，其连接该超导组件，并用于对该超导组件进行除气；一第二感测组件，其与该第二真空阀和该第二真空泵连接，并用于检测该超导组件的真空度；一位移机构，其能够带动该超导组件上下位移；以及一封口装置，其能够横向位移，并将该注料管封口，以保持该超导组件内部的真空度；以及一第三制程装置，用于对做完封口动作的该超导组件做剪断及焊接的动作，该第三制程装置具有一剪断装置及一焊接装置。