[实用新型]等离子体增强化学气相沉积PECVD小车识别系统

摘要

本实用新型实施例公开了一种等离子体增强化学气相沉积PECVD小车识别系统，包括多组机台和PECVD小车，所述机台上设有传感器，所述PECVD小车上设有识别反光板；所述机台设置传感器的位置与同组PECVD小车设置识别反光板的位置相对应，当所述PECVD小车运动到同组的所述机台的上料位置时，所述传感器感应到所述识别反光板，所述传感器指令所述机台上的机械手的动作。本实用新型实施例通过在PECVD小车设置识别反光板和在机台的相应位置设有感应器，并且将每种型号的PECVD小车的识别反光板的位置都设不同的方案，使得机台可以识别不同的PECVD小车，从而可以避免错误的PECVD小车在机台上使用。进而避免了因为误操作引起的各种损失。

主权项

一种等离子体增强化学气相沉积PECVD小车识别系统，包括多组机台和PECVD小车，其特征在于，所述机台上设有传感器，所述PECVD小车上设有识别反光板；所述机台设置传感器的位置与同组PECVD小车设置识别反光板的位置相对应，当所述PECVD小车运动到同组的所述机台的上料位置时，所述传感器感应到所述识别反光板，所述传感器指令所述机台上的机械手的动作。