[实用新型]微通道板电性能动态测试台无效
| 申请号： | 200920190685.5 | 申请日： | 2009-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN201477165U | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 陈楠 | 申请（专利权）人： | 杭州千盟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/28 |
| 代理公司： | 杭州天欣专利事务所 33209 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 311400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型包括工作台，其特征在于：在所述的安装台上安装有观察系统、真空工作室、电子发射系统、真空系统、人机界面系统、电性能参数获取系统、真空控制系统、工转系统和电源系统；所述的电源系统分别与真空系统、真空控制系统、电子发射系统、电性能参数获取系统和人机界面连接；所述的真空室与真空系统连接，其下部安装有工转系统；所述的电子发射系统与真空工作室相通；所述的观察系统位于真空工作室的上方。本实用新型结构设计合理，功能实用，观测准确。 | ||
| 搜索关键词： | 通道 性能 动态 测试 | ||
【主权项】：
一种微通道板电性能动态测试台，包括工作台，其特征在于：在所述的安装台上安装有观察系统、真空工作室、电子发射系统、真空系统、人机界面系统、电性能参数获取系统、真空控制系统、工转系统和电源系统；所述的电源系统分别与真空系统、真空控制系统、电子发射系统、电性能参数获取系统和人机界面连接；所述的真空室与真空系统连接，其下部安装有工转系统；所述的电子发射系统与真空工作室相通；所述的观察系统位于真空工作室的上方。
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