[实用新型]一种气体供应装置无效
申请号: | 200920198525.5 | 申请日: | 2009-09-30 |
公开(公告)号: | CN201527398U | 公开(公告)日: | 2010-07-14 |
发明(设计)人: | 黄伟;顾海涛;王健 | 申请(专利权)人: | 聚光科技(杭州)股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/33 | 分类号: | G01N21/33 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310052 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种气体供应装置,包括光源、滤光模块、转化单元、测量单元,转化单元和测量单元间通过气路连通,所述转化单元上设置进气口,所述测量单元包括测量室、第一探测器、排气口以及分析模块;转化单元和测量单元共用一个光源,所述光源发出的光穿过转化单元而产生臭氧,所述光源发出的光穿过滤光模块、测量单元后,到达所述第一探测器。本实用新型具有结构简单、成本低、测量准确等优点,应用在臭氧气体的供应中。 | ||
搜索关键词: | 一种 气体 供应 装置 | ||
【主权项】:
一种气体供应装置,包括光源、滤光模块、转化单元、测量单元,转化单元和测量单元间通过气路连通,所述转化单元上设置进气口,所述测量单元包括测量室、第一探测器、排气口以及分析模块;转化单元和测量单元共用一个光源,所述光源发出的光穿过转化单元而产生臭氧,所述光源发出的光穿过滤光模块、测量单元后,到达所述第一探测器。
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