[实用新型]一种基于级联微腔的数字式集成光波导传感器

摘要

本实用新型的基于级联微腔的数字式集成光波导传感器，包括一个恒定微腔、一条输入波导、n个传感微腔、n条连接波导、n条输出波导和n个样品槽，n≥1；每一个传感微腔分别置于样品槽当中，输入波导位于恒定微腔的一侧，输入波导的一端与恒定微腔相耦合，另一端为整个光波导传感器的光源接入端；n条连接波导的一端各自与恒定微腔相耦合，n条连接波导的另一端分别与n个传感微腔相耦合，n条输出波导的一端分别与n个传感微腔相耦合，n条输出波导的另一端均为传感信号出射端。该光波导传感器具有数字式工作模式，灵敏度高、抗噪声性能好、可靠性高、并易于扩展实现阵列化，便于与集成光谱仪单片集成，有利于实现集成化、小型化、便携式、低成本的传感系统。

主权项

一种基于级联微腔的数字式集成光波导传感器，其特征在于包括一个恒定微腔(1)、一条输入波导(3)、n个传感微腔(2)、n条连接波导(4)、n条输出波导(5)和n个样品槽(6)，n≥1；每一个传感微腔(2)分别置于样品槽(6)当中，输入波导(3)位于恒定微腔(1)的一侧，输入波导(3)的一端与恒定微腔(1)相耦合，另一端为整个光波导传感器的光源接入端；n条连接波导(4)的一端各自与恒定微腔(1)相耦合，n条连接波导(4)的另一端分别与n个传感微腔(2)相耦合，n条输出波导(5)的一端分别与n个传感微腔(2)相耦合，n条输出波导(5)的另一端均为传感信号出射端。