[实用新型]一种射频电源装置

摘要

本实用新型提供的一种射频电源装置，通过在设置多路输出同步信号源、功率放大器、匹配器、及放电电极，并且匹配器的输出连接所述放电电极并与之匹配，匹配器的输入连接功率放大器的输出并与之匹配，并在直流电源的供电作用下，多路输出同步信号源的输出，经过多路所述功率放大器的同步放大，在多路匹配器的共同作用下，多路放电电极对气体进行射频放电，使多路所述放电电极内的气体产生辉光，所述气体生产等离子体，并在激光谐振腔内产生激光，其采用无线电射频的激励方式，射频的电极被放置在谐振腔外，不和放电气体接触，射电的频率从一万到三百万兆赫，隔着玻璃激励腔内的气体，进行电离和放电，从而避免电极溅射和腐蚀引起谐振腔及光学器件污染。

主权项

一种射频电源装置，其特征在于，包括：多路输出同步信号源、多路功率放大器、多路匹配器和多路放电电极等；其中，所述匹配器的输出连接所述放电电极并与之匹配，所述匹配器的输入连接所述功率放大器的输出并与之匹配；所述多路输出同步信号源的输出，接入多路所述功率放大器的输入端；多路所述功率放大器对输入的射频信号进行同步放大，多路所述匹配器对多路所述放电电极进行射频放电，多路所述放电电极内的气体产生辉光放电。